MOSFETにおいてゲート絶縁膜として主に使われるのは何か？ 2025.05.14 MOSFETにおいてゲート絶縁膜として主に使われるのは何か？ 酸化シリコン(SiO2) 二酸化ホウ素(B2O3) 三酸化アルミニウム(Al2O3) 炭化ケイ素(SiC) MOSFETのゲート絶縁膜には、基本的に酸化シリコン（SiO2）が使用されます。これは高い絶縁性とシリコン基板との良好な界面特性を持つためです。近年はさらなる微細化に伴い高誘電率材料も利用されていますが、基本はSiO2です。他の材料はゲート絶縁膜には通常使用されません。 クイズタグ: 半導体関連記事 半導体クイズ！【問題 全10問・答え付き】 | 2025年05月版
